保罗·L·伯格斯特罗姆

保罗·伯格斯特罗姆

联系方式

  • 电气与计算机工程教授
  • 材料科学与工程系教授
  • 密歇根大学电气工程博士
  • 密歇根大学电气工程硕士
  • 明尼苏达大学电气工程学士学位

传记

Paul Bergstrom 的研究兴趣包括将微机电 (MEMS) 元件与微电子处理集成,从而最大限度地减少 MEMS 处理对标准微电子(CMOS、BiCMOS 等)工艺和器件参数的影响。这项研究反映了全球集成微系统技术的发展趋势,该技术允许以集成方式利用多种 MEMS 技术。这项工作促使人们进行研究,寻求集成后 CMOS 技术的方法,同时保持加速度计、其他惯性传感器、压力传感器、射频 (RF) 谐振元件和执行器结构(例如微镜、液体和气体阀、泵等)等应用所需的良好 MEMS 材料特性。

一个相关的感兴趣领域是开发用于集成微系统技术的低温 MEMS 结构材料和局部退火工艺。新颖的沉积和材料加工可以在与后 CMOS 集成兼容的温度下实现良好的机械和电气性能。

最近的研究活动领域包括基于量子点的电子器件(例如单电子晶体管)的纳米级处理和表征的开发。 Bergstrom 的研究小组已经证明了开发在室温下发挥作用的 SET 器件的努力,利用基于光束的制造和基于纳米压印的处理来展示数千个 SET 器件在室温及以下温度下的功能特性。基于量子点和量子线的电子发展带来了生化和化学传感平台的多种应用。

另一个重要研究活动领域是开发用于化学、光学和热微系统的多孔半导体材料。 Bergstrom 的研究已经证明了化学微系统中大孔硅的形态控制,并正在积极证明基于高度有序的 20nm 介孔二氧化硅膜的电渗泵送极限。

感兴趣的链接

感兴趣的领域

  • 微机电系统
  • 微机械加工材料和工艺技术
  • 惯性压力
  • 纳米级技术支持纳米电子设备
  • 传感器和执行器与电子设备的单片集成技术