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矿物与材料工程大楼 637
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仪器详细信息
Anatech 的 Hummer 6.2 溅射系统是一种真空镀膜仪器，用于 在样品上涂上薄而均匀的金属涂层，通常用于扫描电子显微镜 （扫描电镜）。它通过溅射镀膜工艺进行操作，这是一种使用离子的冷方法 将金属原子从源中移出并将其沉积到样品上。 “血浆 清洁器”是指系统在单独的“等离子模式”下使用等离子的能力 在涂覆前清洁和准备样品表面。
功能
- 等离子蚀刻
- 用于 TEM 和 SEM 样品的等离子清洗机
供应商
悍马