微加工核心实验室为微米级和纳米级研究提供资源 固态电子学、微机电系统（MEMS）的开发和发展， 芯片实验室以及微系统材料和设备。 联系方式 保罗·伯格斯特罗姆 microfabrication@mtu.edu 906-487-2058 丹顿 DV-502A 了解更多 SCS 聚对二甲苯实验室涂布机 2 了解更多 Nanoscribe GT2 了解更多 尼康 Optihot 200 了解详情 EV620 对准器 了解更多 劳雷尔旋转站 了解详情 JA Woollam V-VASE 光谱椭偏仪 了解详情 Filmetrics 3D 轮廓仪 了解更多 尼康 Optihot 150 了解更多 显微操纵器探针台 了解更多 Trion Phantom II RIE/ICP 了解更多 K 和 S 焊线机 了解更多 太阳能模拟器 了解更多 暗室 了解详情 梅伦熔炉 1 了解更多 梅兰熔炉 2 了解详情 2英寸管式炉 了解更多 Perkin-Elmer 2400 6” 溅射工具 了解更多 Perkin-Elmer 2400 8” 溅射工具 了解更多
