位置 矿物与材料工程大楼 (M&M) 432 联系方式 保罗·伯格斯特罗姆 microfabrication@mtu.edu 906-487-2058 访问类型 FOM 支持功能 可容纳四个的水冷坩埚支架 7cc 坩埚衬垫 六英寸可旋转基板支架 石英晶体厚度监测仪 当前来源材料：Co、Ni、Fe、Pt、Ti、SiO2、Cr、Au、Al、Si 和 Cu
