位置 矿物与材料工程大楼 (M&M) 429 联系方式 保罗·伯格斯特罗姆 microfabrication@mtu.edu 906-487-2058 访问类型 FOM 描述 EV620 对准机使用以下技术将图案转移到基板上的光刻胶中 紫外线。
