位置 矿物与材料工程大楼 (M&M) 431 联系方式 保罗·伯格斯特罗姆 microfabrication@mtu.edu 906-487-2058 访问类型 FOM 说明 能够测量晶圆 3D 表面以确定特征的轮廓仪 尺寸和尺寸。
