位置 矿物与材料工程大楼 (M&M) 429 联系方式 保罗·伯格斯特罗姆 microfabrication@mtu.edu 906-487-2058 访问类型 FOM 描述 旋转站能够旋转晶圆，以均匀地施加 晶圆表面的光刻胶和聚合物。
