位置 矿物与材料工程大楼 (M&M) 428 联系方式 保罗·伯格斯特罗姆 microfabrication@mtu.edu 906-487-2058 访问类型 FOM 描述 该系统能够在氧气或氮气气氛中加热晶圆样品。 可以处理6英寸基板。这用于氧化和扩散。
