位置 矿物与材料工程大楼 (M&M) 424 联系方式 保罗·伯格斯特罗姆 microfabrication@mtu.edu 906-487-2058 访问类型 FOM 说明 能够处理 8 英寸晶圆的显微操纵器探针台。针对个人进行配置 探针操纵器或圆形探针卡。