描述
Perkin-Elmer 溅射工具能够拥有多达三个不同的 6” 目标一次加载。该工具使用射频电源进行溅射，目前 有氩气和氧气用于反应溅射。
可用设施
- 氩气和氧气
- 目标：Ti、SiO2、ITO、Cr、Au、Mo、Al、Si、MgO、ZnO 和 Cu
- 干燥氮气
- 用于清洁样品的溶剂
- < 4” 晶圆，具有可靠的均匀性
Perkin-Elmer 溅射工具能够拥有多达三个不同的 6” 目标一次加载。该工具使用射频电源进行溅射，目前 有氩气和氧气用于反应溅射。