描述
Perkin-Elmer 溅射工具能够装载最多三个 8” 靶材 立刻。该工具使用射频电源进行溅射，目前有氩气、 用于反应溅射的氧气和氮气。
可用设施
- 氩气、氧气和氮气
- 目标：Co、SiO2、SiC、CoTi、AlYt、HfO2、C、Y2O3、W、Co-Zr、Ge、Ti、MoSi2、Al(98%)-Nb(2%)、 Si-Al、NiFe(19)、AlZnO、Cu、Zn、NiFe(17)、Ta2O3、Cr、LiO、Mo、Mo-(MoSi2)5.3、FeCo、 B3F、Al、Si、Si-(SiN)5、Cu、Ni 和 Al2O3
- 干燥氮气
- 清洗样品的溶剂
- < 4” 沉积区域，具有可靠的均匀性