位置 矿物与材料工程大楼 (M&M) 432 联系方式 保罗·伯格斯特罗姆 microfabrication@mtu.edu 906-487-2058 访问类型 FOM 仪器详细信息 SCS Labcoater® 2 真空沉积工具专为聚对二甲苯而设计 保形涂层。 Parylene-C 在真空下蒸发,然后吸入沉积 室沉积一层聚对二甲苯。聚对二甲苯涂层具有惰性且具有生物相容性。 它们具有优异的防潮、化学和介电阻隔性能。 注意:样品通常需要在硅烷溶液中进行表面处理,以确保良好的附着力, 在装入高真空室之前。 支持功能 聚对二甲苯-C 前体