位置 矿物与材料工程大楼 (M&M) 431 联系方式 保罗·伯格斯特罗姆 microfabrication@mtu.edu 906-487-2058 访问类型 FOM 说明 RIE/ICP 蚀刻机能够利用氟等离子体气体反应蚀刻晶圆。
