集成磁光子实验室的设备用于制造、 光子和压电结构、材料和薄膜的测试和分析 设备。集成光子学的研究集中在磁光和磁光的使用上 电光材料。
最近的工作重点是磁性光子晶体的开发和制造。 第二个推动力涉及光学和微机电的开发和制造 基于新型高效压电薄膜的系统(MEMS)。
在过去几年中,我们还研究了离子注入引起的缺陷 单晶氧化物的生成。这项工作催生了晶体离子切片技术 生产高质量的单晶铁电薄膜(专利号 6,120,597)。 对这项技术的进一步研究也是正在进行的研究的一部分。
工具包括用于制造磁光的射频磁控溅射系统 电影;电子束写入系统位于 aJEOL 6400 SEM还有一个日立聚焦离子束 (FIB) 系统用于光子结构的纳米图案化,两者均位于应用化学和形态分析实验室;用于沉积电极的金属蒸发器;微型操纵器;棱镜耦合器 用于研究折射率和薄膜厚度;和一个光学测试实验室 用于分析波导器件,包括 HP 和 Ando 红外可调谐激光器 来源。此外,利维的研究还利用了其他各种设施 在矿物和材料工程大楼,包括X射线粉末衍射仪以及用于晶体分析的高分辨率Bede X射线衍射仪;和 用于波导和电极图案化的 EVG 光刻掩模对准器。



