仪器详细信息
Hitachi FB-2000A FIB 使用聚焦高能 (30 kV) 镓离子束 以非常受控的方式从无机样品中去除材料。 FB-2000A 是单光束系统；也就是说，用户使用相同的光束对样本进行成像 用于铣削。该色谱柱类似于电子显微镜，功能非常强大 大致相同。离子束的控制是通过Unix工作站获得的 设计用于支持 TEM 样品制备的制造软件系统 和图案铣削。
功能
FB-2000A 可以被视为微/纳米机械车间。 FIB正常配置 配有 TEM 式测角仪样品引入系统。在 ACMAL 设施中，我们 目前利用 FIB 实现两个主要功能：TEM 样品制备和生产线 铣样。
- TEM 制备可以使用微操纵器以“原位”模式进行，其中 部分准备好的 TEM 楔块可以连接到 FIB 内的 TEM 网格，并且 无需取出标本即可开始后处理。
- 线条图案功能是使用制造能力或 FIB。 FIB 制造软件有助于进行基本的 CAD 绘图或导入 文件数。
- 通过软件控制提供钨沉积。两种铣削模式和 七种光圈设置，全部自动化，为用户提供高速铣削或观察 模式。
- 使用测角仪时，样本尺寸最大限制为 5 毫米 x 10 毫米 x 1-2 毫米厚 样本系统。较大的样品可以容纳在 SEM 载物台中，尽管先进 使用该阶段需要进行调度。
供应商
日立
培训
电子培训
此仪器提供免费在线电子培训。这个自定进度的教程和 参考内容不能取代授权使用的课程要求。