Hitachi FB-2000A FIB Training Index
1。将 M1-500 聚焦并注册到感兴趣区域之外。使用M0-50返回
已保存位置。
单击“编辑”>“选择所有图案元素”,然后将图案放置在焊盘上。套装
区域 x 缩放至 256 x 4,然后单击“获取图像”按钮。
3。聚焦并套准 M0-50。在面积 x 缩放 = 256 x 1 时,手动倾斜样本
到 60 度并锁定位置。
4。返回到保存的位置并使用区域 x 缩放 = 256 x 4 进行对焦。注册M1-300
对于底切,然后获取图像。
5。从“编辑”菜单中,按“清除”以从屏幕上删除 QFAB_2 图案。
使用以下参数绘制一个矩形框:
- 区域 x 缩放:256 x 8
- 尺寸:~24 x 2
- 时间:10 分钟
- 扫描:见左图。
7。 Place the box 6–9 µm below the top edge of specimen.按开始制造
按钮。
注意:调高对比度并仔细观察铣削窗口的两侧朝
中心,直至被切穿。完成后,按停止并关闭。
8。选择M0-50。 At Area x Zoom = 256 x 1, tilt the specimen back to 0 degrees and
锁定位置。
9。在区域 x 缩放 = 256 x 4 时,进行焦点注册。检查后边缘是否被切割。如果有需要的话,
通过倾斜回 60 度再次执行铣削,并从上方铣削得更远
底部边缘。
Operating Procedure: Landing the Probe for Lift Out Technique Part 1