足球比赛结果 用于提升技术的 FIB 粗铣

1。将 M1-500 聚焦并注册到感兴趣区域之外。使用M0-50返回 已保存位置。


Q FAB 2 文件选择。

2。选择文件 > 打开:Q_FAB2。


粗铣图案。

单击“编辑”>“选择所有图案元素”,然后将图案放置在焊盘上。套装 区域 x 缩放至 256 x 4,然后单击“获取图像”按钮。


制造开始按钮。

单击“制造开始”。


粗铣后的窗口。

让研磨机运行 30–40 分钟。


3。聚焦并套准 M0-50。在面积 x 缩放 = 256 x 1 时,手动倾斜样本 到 60 度并锁定位置。


4。返回到保存的位置并使用区域 x 缩放 = 256 x 4 进行对焦。注册M1-300 对于底切,然后获取图像。


5。从“编辑”菜单中,按“清除”以从屏幕上删除 QFAB_2 图案。


溅射工具。

6。使用溅射工具。


扫描图标。

使用以下参数绘制一个矩形框:

  • 区域 x 缩放:256 x 8
  • 尺寸:~24 x 2
  • 时间:10 分钟
  • 扫描:见左图。

溅射箱。

溅射箱。


粗铣窗口。

7。将盒子放置在样本顶部边缘下方 6–9 µm 处。按开始制造 按钮。


具有对比度的粗铣窗口。

注意:调高对比度并仔细观察铣削窗口的两侧朝 中心,直至被切穿。完成后,按停止并关闭。


粗铣图像已锁定。

8。选择M0-50。在面积 x 缩放 = 256 x 1 处,将样本倾斜回 0 度并 锁定位置。


9。在区域 x 缩放 = 256 x 4 时,进行焦点注册。检查后边缘是否被切割。如果有需要的话, 通过倾斜回 60 度再次执行铣削,并从上方铣削得更远 底部边缘。


操作程序:着陆探针以进行提升技术第 1 部分