注意：更改缩放比例会使比例尺变得无用，因为它不再经过校准。 如果您需要更高的放大倍数，请更改区域。请记住，改变 该区域也会改变放大倍数。
| 区域 | 放大倍数 |
|---|---|
| 256 | 566X |
| 32 | 5000X |
| 4 | 36000X |
1。在桌面上，单击 NPGS 菜单。系统将在启动时校准约 40 秒 起来。将出现纳米图案生成系统窗口。找到你的目录 在当前项目目录下，或创建一个新项目。 （看使用 NPGS 软件Hitachi FB-2000A FIB 下的操作程序中有关保存项目的说明。）
2。单击左栏中的 DAC (+10 +10) 和 NPGS 模式按钮，然后单击 命令 > 数字成像 > 文件 > 新扫描。在图像数据输入窗口中 出现后，将 Hitachi Screen 的放大倍数输入 SEM 放大倍数。改变 扫描点 (x, y) 为 500、500 或 1000、1000，具体取决于您所扫描的尺寸 欲望。将比例因子更改为 0.9。
3。您可以选择组名称或创建一个新组名称，然后按“保存”。很有用 使用该组，因为它会记录您的放大倍数和扫描点数据 经常使用。建议将组名称命名为 AreaxZoomxScanPts。
4。确保 Hitachi 光束扫描已打开，然后按 NPGS 监视器上的“获取图像”。 请注意，如果您选择扫描尺寸：1000x1000，则部分图像将不会显示 在显示器上。使用 Windows 滑块查看图像的隐藏部分，包括 比例尺。
注意：图像处理完成后，对比度可能会发生变化，使图像变暗。 如有必要，单击“图像”>“图像数据直方图”，然后滑动红色右手和 左手线，直到图像质量提高。
5。在 NPGS 主菜单中，单击 FIB 模式按钮以释放 Hitachi 扫描。新闻 文件 > 保存。在出现的窗口中，如果您想创建自己的名称，请取消选中自动名称 自己的文件名。保持选中“在图像上保存注释”以保存比例尺，然后> 好的。
6。要获取文件，请在 NPGS 窗口中的“当前项目”下找到您的目录 目录，然后在显示文件类型下选择图像。
