注意：在此步骤中集中注意力并注册非常重要。
1。单击获取图像。在区域 x 缩放 = 256 x 8 处，聚焦并配准 M1-200。
2。使用溅射工具绘制一个矩形框，参数如下：
- 尺寸：~11 x 2
- 时间：至少 4 分钟。每条边
- 扫描：见下图。
将盒子放在保护垫的上边缘，然后按“制造开始”。
观察：白色部分（锥度）应该逐渐消失。
对保护垫的下边缘重复此操作。
注意：根据需要重复前面的两个步骤，交替将磨机放在上部和上部 仅锥体的下边缘，直到样品厚度测量为 1 µm。
3。在区域 x 缩放 = 32 x 2 处，聚焦并配准 M1-100。
4。重复步骤 2 -3 直到样本为 0.6 µm。
5。聚焦并配准 M1-50。
6。重复步骤 2 -3，直到样本为 0.2–0.3 µm。
7。对焦并配准 M1-50 或 M0-50。
8。最终铣削：
8.1。更改为面积 x 缩放 = 32 x 1。
8.2。在“舞台”菜单下，选择“C.Copy”>“保存”以保存舞台位置。
8.3。输入 1 度倾斜。
8.4。将区域更改为区域 x 缩放 = 32 x 2 和速度：5。使用溅射工具进行绘制 具有以下参数的矩形：
- 尺寸：~11 x 0.5
- 时间：至少 4 分钟。每条边
- 扫描：参见下图（远离边缘）。
将框正确放置在上边缘。
8.5。更改区域 x 缩放 = 32 x 8，然后按“制造开始”。多次运行磨坊 检查边缘。运行直到样本约为 70 nm。
注意：将区域 x 缩放更改为 32 x 8 后，仅垂直调整框。
8.6。更改为区域 x 缩放 = 32 x 1 和速度：快速。
8.7。在舞台菜单下，输入 -1 度进行倾斜。
8.8。将区域更改为区域 x 缩放 = 32 x 2 和速度：5。使用溅射工具进行绘制 具有以下参数的矩形：
- 尺寸：~11 x 0.5
- 时间：至少 4 分钟。每条边
- 扫描：查看左侧的图像（远离边缘）。
提醒：将区域 x 缩放更改为 32 x 8 后，仅垂直调整框。
8.8.1。将区域 x 缩放更改为 32 x 8，然后按“制造开始”。经营工厂很多 次检查边缘。运行直到样本约为 70 nm。
8.8.2。将区域 x 缩放更改为 32 x 1，速度：快速。在舞台菜单下，输入 0 度向后倾斜。
8.8.3。将区域 x 缩放更改为 32 x 8 并聚焦。您可能需要更改为速度：5。 单击获取图像并测量。
8.8.4。最终样本应为 50-70 nm。
9。取出后关闭 FIB。参见日立操作程序中的关机 FB-2000 FIB.