离子泵 1 (IP1) 和离子泵 2 (IP2)
装有离子枪的柱子上部保持较高的真空 比样品室更能消除枪尖附近的污染物和氧化物。正常 真空值为 3x10-6IP1 和 1.5x10 的 Pa-5IP2。
加+液态金属离子源 (LMIS)
FIB 的 LMIS 是一根连接到镓储存器的钨针。 钨尖端涂有熔化的 Ga，沉积 Ga+当引入足够的电势时，离子到达样品表面 穿过尖端和阳极。
聚光透镜
该镜头位于离子枪下方，有两种工作模式：M0 和 M1。 M0模式表示 聚光透镜关闭，束电流降低。通常使用M0设置 用于成像。 M1模式表示聚光镜头开启并使用 用于铣削活动。
对准器/像散器
对准器/像散校正器既可以将离子束与光轴对准， 离子束形状的像散校正。
主导流板
这些线圈具有静电特性，可以操纵离子束。
物镜
物镜将离子束集中并聚焦到样品表面。
标本室
样品室是真空下离子柱下方的封闭区域 标本所在的位置。正常真空值为5x10-2宾夕法尼亚州。该室封闭了样品台。