日立 FB-2000A FIB 培训索引 基础科学 形式和功能:第 1 部分 - 操作 形式和功能:第 2 部分 - 应用 内部组件 安全程序 样本制备 支架类型 准备选项 操作流程 初步 启动 标本交换 对齐 提出技术 用于提升技术的沉积 用于提升技术的粗铣 着陆用于提升技术第 1 部分的探针 着陆用于提升技术第 2 部分的探针 用于提升技术的精铣 钨沉积 位图图像铣削 (SEM/TEM) 使用 NPGS 软件 正在卸载 关闭 成像技术 FIB(日立)模式 NPGS 模式 常见问题解答 问题排查 1。将探头向左移动并降低到足够的高度,使其远离 depo 枪。 2。从 DEPO 选项卡菜单中,选择喷嘴位置:逃逸。 在“MANIPULATION CONTROLLER”中,关闭“HOLD OFF”和“BUZ ON”。按 ESC 键删除 探头。关闭光束。 3。关闭 S.C. 气锁阀。逆时针旋转几度插入样本 并释放。打开 S.C. 气锁阀。 按连续扫描按钮。 4。返回要被抬出的区域。 5。选择列调整 > 文件 > 退出 > 确定。 打开“制造”菜单。 6。选择以下图像参数: 区域 x 缩放:256 x 8 光束:光束-01 注意:“扫描”部分和“制造条件”部分中的光束名称应匹配。 7。按连续扫描。找到需要抬起的区域并调整 焦点、亮度和对比度。注册设置。 8。单击获取图像按钮。 9。检查红色电压表上的 depo 枪是否加热至 6.2 VDC。 10。使用DEPO工具为焊盘绘制一个矩形框。 尺寸:15 x 3 时间:10–12 分钟 扫描: 注意:确保梁名称在“制造条件”下以及“ 右侧面板。 绘制的矩形。 Depo 参数。 11。按“制造开始”按钮并运行直至完成。 12。使用M0-50检查沉积质量。 13。在“舞台”菜单下,单击“C.复制”>“保存”以保存位置。 操作程序:用于提升技术的粗铣