足球比赛结果 FIB 着陆用于提升技术的探针第 2 部分

注意:如果从提升程序的第 2 天开始,请重复:

  1. 对齐适用于:操作程序中的 M0-50、M1-50、Beam-01、M1-100、M1-200 和 M1-20 日立 FB-2000A FIB,和
  2. 当支架处于制动位置时,检查微探针位置,即步骤 7.1 至 7.10提出技术日立 FB-2000A FIB 下的操作程序。

然后继续执行下面的步骤 14。

注意:如果从提升程序的第一天开始继续,请继续执行下面的步骤 14。

SC 锁气阀

14。打开 S.C. 气锁阀。


15。如果使用 Omni Probe 网格:


15.1。将 Omni 探针网格装入 TEM 支架。 (网格周围的线应该 面朝上。)参见标本交换Hitachi FB-2000A FIB 下的操作程序中用于加载说明。


15.2。持有人应处于 FIB 位置。通过移动标本找到网格 向下,这样您就可以看到支架的顶部边缘。启动光束。继续执行步骤 下面 17 条。


16。如果不使用 Omni Probe 网格:


16.1。将支架滚动到 R-T 位置并找到网格的边缘。


制造菜单按钮。

16.2。在区域 x 缩放 = 256 x 4 处,聚焦并注册 M1-500 作为着陆平台。选择 文件 > 退出。打开制造菜单。


溅射工具。

16.3。使用溅射工具绘制一个矩形框,参数如下:

  • 尺寸:~25 x 5
  • 时间:10 分钟
  • 扫描:见下图。

溅射扫描参数。

注意:请注意此步骤之后的特殊说明。


制造开始按钮。

放置盒子,使较长的边缘正好悬挂在网格的顶部边缘上。单击 制造开始按钮并观察。


16.4。当铣削开始时,您会看到白色部分逐渐降低,形成 顶部有一个缺口。当您看到差距时,停止并关闭。此时,重新定位 装箱并重新运行,以便您铣削样品并且不是真空!继续停止并重新定位,直到您切削深度至少为 15 µm 并且平坦。您必须重复直到宽度等于~10 µm.


 16.5。检查宽度:


 16.5.1。更改为区域 x 缩放 = 256 x 1。将支架滚动到 FIB 位置,保持 您使用轨迹球在屏幕上的位置。


16.5.2。更改为面积 x 缩放 = 256 x 4。尺寸应约为22 微米 x 11.5 微米.


保存和C.复制按钮。

17。聚焦并套准 M0-50。在“舞台”菜单下,选择“C.Copy”>“保存”以保存舞台 位置。


嗡嗡声和暂停按钮。

18。打开 BUZ ON 并关闭 HOLD。


窗口中的支架。

19。通过向下移动支架将载物台移至整个支架的上边缘,以便 它几乎不在屏幕上,甚至不在屏幕上。在区域 x 缩放 = 256 x 1 处,调用探头 并将其提高到 1500。要将探头定位在着陆垫上,请向上移动网格 同时探头在中央屏幕上保持静止。聚焦、注册并获取图像。


样本着陆并在窗口中进行探测。

20。要着陆样本,请使用中描述的技术着陆用于提升技术第 1 部分的探针Hitachi FB-2000A FIB 下的操作程序 - 步骤 4。


21。在区域 x 缩放 = 256 x 8 处,聚焦并注册 Beam-01。


Depo 工具。

22。使用DEPO TOOL绘制一个矩形,参数如下:

  • 尺寸:~6 x 3(可变)
  • 时间:5 分钟
  • 扫描:见下图。

溅射扫描参数。


窗口上边缘的框。

将盒子放在左上角,然后按“制造开始”。


窗口另一边缘上的框。

您可以添加另一个 3x5 矩形 5 分钟。在相同或不同的边缘。


23。在区域 x 缩放 = 256 x 8 处,聚焦并对准光束 M1-200。按“BUZ ON”。


溅射工具。

24。使用溅射工具绘制一个具有以下参数的矩形:

  • 尺寸:~6 x 3
  • 时间:5 分钟
  • 扫描:见下图。

溅射扫描参数。

将盒子放在探头的顶部边缘上。观察磨机并按“停止并关闭” 当您听到“嘟嘟”声时。


25。向上移动探头并按控制板上的 ESC 键即可移除探头。


26。聚焦并配准 M0-50 以观察结果。


操作程序:用于提升技术的精铣