注意:如果从提升程序的第 2 天开始,请重复:
- 对齐适用于:操作程序中的 M0-50、M1-50、Beam-01、M1-100、M1-200 和 M1-20 日立 FB-2000A FIB,和
- 当支架处于制动位置时,检查微探针位置,即步骤 7.1 至 7.10提出技术日立 FB-2000A FIB 下的操作程序。
然后继续执行下面的步骤 14。
注意:如果从提升程序的第一天开始继续,请继续执行下面的步骤 14。
15。如果使用 Omni Probe 网格:
15.1。将 Omni 探针网格装入 TEM 支架。 (网格周围的线应该 面朝上。)参见标本交换Hitachi FB-2000A FIB 下的操作程序中用于加载说明。
15.2。持有人应处于 FIB 位置。通过移动标本找到网格 向下,这样您就可以看到支架的顶部边缘。启动光束。继续执行步骤 下面 17 条。
16。如果不使用 Omni Probe 网格:
16.1。将支架滚动到 R-T 位置并找到网格的边缘。
16.4。当铣削开始时,您会看到白色部分逐渐降低,形成 顶部有一个缺口。当您看到差距时,停止并关闭。此时,重新定位 装箱并重新运行,以便您铣削样品并且不是真空!继续停止并重新定位,直到您切削深度至少为 15 µm 并且平坦。您必须重复直到宽度等于~10 µm.
16.5。检查宽度:
16.5.1。更改为区域 x 缩放 = 256 x 1。将支架滚动到 FIB 位置,保持 您使用轨迹球在屏幕上的位置。
16.5.2。更改为面积 x 缩放 = 256 x 4。尺寸应约为22 微米 x 11.5 微米.
19。通过向下移动支架将载物台移至整个支架的上边缘,以便 它几乎不在屏幕上,甚至不在屏幕上。在区域 x 缩放 = 256 x 1 处,调用探头 并将其提高到 1500。要将探头定位在着陆垫上,请向上移动网格 同时探头在中央屏幕上保持静止。聚焦、注册并获取图像。
21。在区域 x 缩放 = 256 x 8 处,聚焦并注册 Beam-01。
23。在区域 x 缩放 = 256 x 8 处,聚焦并对准光束 M1-200。按“BUZ ON”。
25。向上移动探头并按控制板上的 ESC 键即可移除探头。
26。聚焦并配准 M0-50 以观察结果。










