1。滑入计算机日志以激活显微镜。
2。确保 IP1 和 IP2 绿灯亮起（前面板位于腔室下方）。
3。确保 DP、水压机和气压机的绿灯亮起。确保DP 电源开关已打开。
4。检查 S.C. 和 S.E.C.高真空时真空绿灯亮起。
5。检查 S.C. AIR LOCK VALVE 是否处于关闭位置。
开关注意事项：FIB 上的所有开关均受到保护，防止位置意外改变。 为了翻转开关，您必须在尝试之前将每个开关杆拉出 改变立场！否则会损坏开关。
样本注释：FIB 可容纳 5x5 毫米或 5x10 毫米的样本。晶圆厚样品 是最好的。不允许使用潮湿或受污染的标本。
如果不满足上述任何条件或警报响起，请联系 ACMAL 工作人员立即。